Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg; Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente

Profil

Praxisrelevante aktuelle Projekte:

• Untersuchung des Aktivierungs- und Diffusionsverhaltens von Bor in polykristallinen SiGe-Gateelektroden für MOS-Transistoren
• Chemische Dampfphasenabscheidung von Schichten hoher Dielektrizitätskonstanten am Beispiel Barium-Strontium-Titanat
• Modellierung und Simulation der Diffusion von Aluminium in Silicium
• CVD-Prozesse mit neuartigen metallorganischen Precursoren zur Herstellung von hochepsilon Gatedielektrika und metallischen Gateelektroden zukünftiger CMOS Generationen
• Entwicklung von Leistungshalbleiterbauelementen zur Integration in eine Hochvolt IC Technologie / Experimentelle Verifizierung eines neuartigen Konzeptes für hochsperrende bipolare Leistungshalbleiterbauelemente
   

Praxisrelevante Ausstattung/Messmethoden:

• Halbleiterprozesstechnik (1000qm Klasse 100 Reinraum, 150mm Siliciumtechnologie, 0.8µm CMOS-Prozess, Sonderprozesse bis Scheibengrösse 300mm verfügbar, Labor für Ionenimplantation)
• Elektrische Messtechnik (u.a. Bauelementecharakterisierung mit manuellen und automatischen Waferprobern, Lebensdauermesstechnik, Oxidcharakterisierung, Elektronenstrahltester)
• Physikalische und chemische Analytik (FIB, REM, TEM, AFM, SIMS/SNMS, XPS, RBS, div. massenspektrometrische Verfahren, TXRF(TRFA), optische Partikel-/Defektkontrolle)
• Parallelrechner, Workstations für Simulation und Design, Entwicklungswerkzeuge für Anlagen- und Messplatzsteuerungen (SieFuzzy, SieMatic, µC Entwicklungsumgebung, LabView)
  

Technologien / Forschung

Praxisrelevante Forschungsgebiete:

• Halbleitertechnologie (Prozesstechnik, physikalische Analytik, Ionenimplantation, Bauelemente)
• Simulation von Halbleiterbauelementen und -fertigungsprozessen (Bauelemente, Diffusion, Topographie)
• Halbleiterfertigungsgeräte und Materialien (Fertigungstechnik, Automatisierung, chemische Analytik)
• Leistungselektronische Bauelemente und Systeme (HV-Bauelemente auf Si- oder SiC-Basis, Smart Power Technologien, Mechatronik, Leistungselektronik)
• Kristallzüchtung (Herstellung, Modellierung von Züchtungsprozessen)
   

Kooperationsmöglichkeiten

Bevorzugte Form der Kooperation  

• Beratung
• Gutachten
• Messung
• FuE
• Diplomarbeit
• Doktorarbeit
• Aus- und Weiterbildung
   

Angebote zur Zusammenarbeit:

• Forschung, Entwicklung und Dienstleistung auf dem Gebiet der Halbleiterprozesstechnik - Entwicklung von Verfahren, Prozessen und Bauelementen, Durchführung von Einzelprozessen (Ionenimplantation, Schichtabscheidung - z.B Metalle oder Isolatoren, Strukturierung von Oberflächen), Entwicklung von Teststrukturen und (Leistungs-)Bauelementen, Herstellung von Bauelementen/Schaltungen für Ausbildung, Praktika, etc.
• Halbleiter- und Bauelementemesstechnik - Charakterisierung von Bauelementen und Schaltungen (auf Siliciumscheiben/Wafer Level bzw. vereinzelt), Zuverlässigkeitsanalysen, Fehler- oder Ausfallanalyse, Reparatur von Prototypen oder Kleinserien mittels FIB
• Physikalische und chemische Analytik - Profilmesstechnik, Kontaminationsanalysen an Siliciumscheiben und Prozessmedien, Eichstandards, Lebensdauermesstechnik
• Entwicklung von Halbleiterfertigungsgeräten vom Labormaßstab zur Fertigungsreife - Anlagenkonzepte, Automatisierung, Standardisierung von mechanischen und informationstechnischen Schnittstellen, Integration von inline/in situ-Messtechnik
• Entwicklung von elektronischen Schaltungen und Systemen mit Schwerpunkt auf der Leistungselektronik

Kontakt

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